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氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

真空检漏（vacuum leak detection）就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

漏率的大小需进行校准后方能确定。一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。 检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。

漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置，一般尽可能缩小检测的面积范围，所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏，组装后就可避免漏气。

氦广泛应用于科学和医疗设备、航空航天、电子和低温技术领域。近年来，对氦的需求不断增加，暴露了供应不足的问题，从天然气中回收的氦是氦的主要来源，低温蒸馏结合变压吸附是目前生产氦的主要技术，但这种工艺设备昂贵，能耗高。因此，高效节能分离技术的发展一直是科学研究的热点，膜分离技术因其能耗低、设备投资少、体积相对较小等优点，逐渐应用于各种分离领域。

氦液化器和氦液回收系统可以帮助回收低温设备中正常蒸发和氦传输流失的氦气，并重复使用它们。这些氦液化器和回收系统适用于液氦消耗设备的研究和医疗，如液氦超导磁体、PPMS、MPMS、液氦低温器、STM、NMR、MEG等，它可以帮助你避免购买液体氦的繁琐过程，并节省大量购买液体氦的成本。同时，你也会尽力保护宝贵的自然资源，这是一项非常重要的科学研究和医疗保健。

氦液化器，拥有友好的触摸屏用户界面，可通过互联网远程访问。全自动操作允许你把更多的时间花在工作上而不是冷剂维护，与工业氦液化器不同，它体积小，体积轻，便于通过门和斜坡，可大大降低多次输液氦造成的损失。这些特性使得液氦的回收和转移比以往任何时候都更加方便。

回收系统可以用于各种类型的低温设备。定制配件和连接装置可用于各种仪器，以便无缝集成到您的实验室或低温设备上，回收系统的每一个阶段都有防故障保护装置，这样在发生事故时，回收系统的其余部分和低温仪器就不会受到损坏或污染。

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